半導體應變片的原理和應用
半導體應變片的原理和應用利用半導體單晶硅的壓阻效應制成的一種敏感元件,又稱半導體應變片。壓阻效應是半導體晶體材料在某一方向受力產(chǎn)生變形時材料的電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象(見壓阻式傳感器)。半導體應變片需要粘貼在試件上測量試件應變或粘貼在彈件敏感元件上間接地感受…
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